米兰官网-张晓东：扎根一线16年，他从“小学徒”到“劳模工匠”—新闻—科学网

2025年春日，对于中国科学院姑苏纳米技能与纳米仿生研究所（如下简称姑苏纳米所）正高级工程师张晓东来讲，堪称双喜临门：不仅荣获“2025年天下进步前辈事情者”表扬，他地点的微纳加工技能立异团队也荣获中国科学院第六届科苑名匠称呼。

时针拨回2009年的盛夏，硕士卒业的张晓东刚插手姑苏纳米所，就一头扎进纳米加工平台，一干就是16年。

纳米加工平台是集半导体微纳加工、检测和封装在一体的技能平台，2009年正式对于外开放，今朝已经拥有超10000平方米超净试验室，各种半导体装备300余台套，可满意硅微电机体系、化合物半导体与宽禁带半导体砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、氧化镓等光电子器件、功率电子器件、微纳器件、生物芯片和各类传感器的研发需求。

从平凡工艺员到技能主干，张晓东见证着纳米加工平台的发展，也不停书写着本身的故事。“这一声誉不单单属在小我私家，更是对于咱们单元与团队的承认。”张晓东告诉《中国科学报》，冲动之余，他思索更多的是怎样传承这份“工匠精力”。

“小学徒”到“教员傅”

“半导体系体例造是一个相对于高真个财产，工艺程度及小我私家经验高度相干。书上看的及动手三木SEO-操作彻底是两回事。”张晓东告诉记者。而16年前的他，除了了一股劲头，专业技术及经验堆集险些是零。

其时，作为纳米加工平台运维团队的年青工艺员，张晓东卖力平台的电子束金属蒸发、化学机械研磨抛光、磁控溅射薄膜沉积、电感耦合等离子体刻蚀等装备的一样平常运营治理，面临这些价值数百万的周详仪器装备，他经常“紧张得手心微微冒汗”。

“进修及营业能力晋升成为了第一要务。”张晓东告诉记者，只管其时作为平凡的工艺员，只用卖力某几台装备，“不会触及到很周全的整个半导体芯片工艺。”但繁忙的事情之余，深夜或者周末，灯火通明的试验室里，常常能找到他俯身的违影。

很快，时机来了。姑苏纳米所主持负担的国度庞大科学研究规划项目“基在纳米布局的宽光谱高效太阳能电池要害科学问题研究”，需要依托纳米加工平台，完成化合物半导体太阳能电池器件研究。作为平台的一分子，张晓东也到场了该项目。

“对于其时的我来讲颇有挑战。”张晓东回忆道，不光要形成对于整个太阳能电池芯片工艺的周全熟悉，还有险些一小我私家串起了芯片工艺全流程，“要做一颗太阳能电池芯片需要几十个工艺步调，从洗濯质料到光刻、刻蚀、镀膜、减薄、划片等等，只是光刻工艺就要做七八次，一般整个流程需要两至三周时间。”

要实现优良的化合物太阳能电池芯片机能，衬底的厚度至关主要。“厚度越薄、转换效率越高、成本越低。”张晓东告诉记者，芯片衬底减薄是一道必需降服的难关。“两英寸晶圆级芯片的InP、GaAs衬底要减薄到100微米至50微米。”然而，由于质料特征及前期的工艺堆集，跟着厚度的削减，整个芯片也变患上异样“懦弱”，一不留心就前功尽弃。

“每一一步器件工艺都直接影响着终极芯片制备的成败、甚至项目的研发进度，危害、压力、挑战并存。”张晓东说，于重复测验考试及屡次掉败中，他也逐渐堆集了富厚的工艺开发经验，“恰是这些磨砺富厚了我的认知，也提高了营业程度，让我有了更新的出发点。”

16年苦守一线

这位方才踏入43岁的年青博导，十年如一日地埋首一线，亲历了纳米加工平台的从无到有、成长壮年夜。

于纳米加工平台E-beam、CMP、Sputter、ICP等系列半导体装备运营和治理之余，张晓东还有踊跃介入了工艺开发与堆集、尺度化工艺制订与推广、技能培训与人材造就等事情……纳米加工平台发展的每个要害节点，都有他的身影。

“跟着时间的堆集及各类事情的历练，我也最先及团队做一些开拓性事情。”张晓东发明，跟着加强实际（AR）及虚拟实际（VR）等新型近眼显示体系的快速成长，传统的显示芯片没法满意其运用需求，“具备自觉光特征的氮化镓Micro-LED微显示芯片具备高亮度、高效率、高分辩率、高色采饱及度、小体积、低功耗等优秀特征，是AR/VR等近眼显示体系的焦点。”

然而，通例Micro-LED芯片制备都是基在蓝宝石衬底，当其与硅基CMOS驱动晶圆集成时，因为热膨胀系数差异，两者孕育发生的膨胀或者紧缩水平纷歧样，极易致使芯片分裂。“咱们团队立异性地采用了硅衬底氮化镓 Micro-LED与硅基CMOS晶圆异质集成，不仅能有用防止芯片集成的裂片问题，还有兼容尺度的半导体系体例造工艺，合适年夜范围量产。”张晓东先容称，再联合高效量子点色采转换技能，使用非凡光学特征，将一种颜色的光高效地转换为另外一种颜色光，实现了机能优秀的单片集成式全彩Micro-LED微显示芯片研制。

对准科研及财产成长需求，张晓东领导团队建成为了海内首条开放性八英寸氮化镓Micro-LED工艺线，加快了高端Micro-LED微显示芯片国产化的进程，也进一步提高了纳米加工平台的影响力。

十余年间，张晓东见证着纳米加工平台的发展。今朝，平台每一年支撑数百家高校、科研院所及企业举行科学研究、技能开发及职员培训等，为新一代信息科技成长运送了年夜量技能与人材，鞭策相干财产增长产值数十亿元，成为了姑苏纳米地点半导体微纳加工范畴的“金手刺”。

“此刻日趋壮年夜的纳米加工平台已经经于回馈社会，这也见证着我小我私家状况的变化。”今朝，张晓东依旧投身在试验室一线，霸占着更多要害新型半导体元器件的要害技能。

“工匠精力”代代传

作为各人心中的“劳模工匠”，“2025年天下进步前辈事情者”表扬外，张晓东还有曾经得到天下五一劳动奖章、中国科学院技能支撑人材、姑苏“立异创业”好青年等称呼。

“‘劳模精力、工匠精力’于科研范畴特别主要，对于事物、问题的苦守执着、专业专注、不断改进、一丝不苟都是做好科研事情必备的本质。”面临浩繁声誉，张晓东深切思索了科研事情者的责任及担任，“当真努力做好本职事情同时，还有要不停提高专业技术及自身素养、开拓朝上进步、斗胆摸索、敢于立异。”

张晓东总结了本身的“攻关秘笈”：于普通的事情中对峙不甘平淡的心态，不停对于自我提出更高要求、实现自我逾越。秉持着如许的心态与对峙，一线的科研之余，张晓东也最先重复思索，怎样将这份“工匠精力”传承下去。

于人材造就中，张晓东非分特别看重造就学生的主不雅能动性。“必需将年青人的内涵驱动力与外于科研规范联合，兼具立异精力与学术操守。同时，还有要固守科研事情的严谨性，确保数据真实靠得住、试验可反复、论文无学术不端，守患上住底线。”张晓东告诉记者，此外还有患上坐患上住“冷板凳”的精力及挑战“不成能”的勇气，“固然，身心康健也很是要害，这是实现一切的基础及保障。”

是以，张晓东决议身体力行，上行下效地通报“工匠精力”。

“每一个人都有本身的设法，干事情有最基本的法则及要领，以和对于事物的认知及立场。科研是摸索性研究，即便身为教员，我也不知道全数问题的谜底。”张晓东非分特别注重主不雅能动性，必需充实阐扬每一个人的拿手，心往一处想、劲往一处使、拧成一股绳，“同时，我还有常常告诉学生，要将小我私家兴致与国度成长相联合，努力做终身进修者，力争成为常识型、技术型、立异型的劳动者。”

一手抓科研、一手抓讲授，张晓东前行的脚步始终没有停下。

“最近几年来我国虽然于新型半导体质料与器件、芯片等范畴取患了长足成长，但量还有不敷年夜、面还有不敷广，要做到周全领先、逾越还有需要配合努力。”追念起2009年的炎天，他怀揣着满腔热忱走进姑苏纳米所，数十载工夫里及纳米加工平台配合发展，张晓东颇为感触，也越发坚定，“咱们将依托平台上风，力争于超宽禁带半导体、化合物半导体质料与器件、半导体质料与芯片异质异构集成等范畴做出本身努力与孝敬。”

?